真空測量就是真空度的測量，而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷*沿用下來的，并不十分合理。壓力高意味著真空度低；反之，壓力低與真空度高相對應。
高精度真空計（真空規）就是依據各種原理制作成用來測量真空狀態下壓力大小的真空傳感器。根據中華人民共和國國家標準（GB7665—87），傳感器（Transducer/Sensor) 的定義是：能感受規定的被測量并按照一定的規律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。傳感器是一種以一定的準確度把被測量對象轉換為與之有確定對應關系的、便于應用的某種物理量的測量裝置。高精度真空計（真空規）就是以一定的精度將真空壓力轉化為有確定關系的電壓電流值的測量裝置，是傳感器的一種，在一個系統中的功能和溫度計，磁力計，光感計等等，沒有什么本質的區別。 選用高精度真空計，一般要考慮以下幾個方面：
1）信號的接受。高精度真空計將真空壓力轉換成電信號后，可有兩種形式被系統接受，可以是數字信號，可以是模擬信號。根據系統的需要來選擇。
2）真空測量范圍。不同的高精度真空計，量程是不一樣的，我們需要根據不同工藝的不同真空要求來選擇對應的高精度真空計。真空包裝用的高精度真空計和半導體鍍膜用的高精度真空計肯定是不一樣類型的產品。
3）使用的環境。很重要一點就是有無輻射，還有就是有無腐蝕，污染是否嚴重等等都需要考慮，才能選擇一款適用的高精度真空計。
4）要求的精度。如果選用的一款高精度真空計測出來的數據，根本不能讓你相信，精度達不到要求，那還不如不測?；蛘哒`差超出了工藝的要求，就會給生產過程帶來麻煩，產品質量受影響，也是得不償失的。
高精度真空計根據使用環境
1.腐蝕性環境
如果所測真空對象中有酸性，堿性等腐蝕性氣體，如SO2，NH3，CL2等等，選用的真空配件包括高精度真空計，都必須是抗腐蝕的。不然會造成測量不準，高精度真空計損壞等等一系列問題。
數字型高精度真空計都不防腐蝕，所以在腐蝕性環境中無法使用，只能選用皮拉尼高精度真空計產品。的高精度真空計系列包含防腐蝕高精度真空計，覆蓋全部真空測量范圍。如薄膜高精度真空計全系列，電容薄膜高精度真空計全系列，皮拉尼高精度真空計，冷陰極離子高精度真空計全系列，熱陰極離子高精度真空計等等，都具有防腐蝕功能。
防腐蝕高精度真空計，是通過使用防腐蝕探測元件，防腐蝕密封件，接口部分選用不銹鋼，來實現整個高精度真空計的防腐蝕功能。
2.強輻射環境
對于在輻射環境中使用的高精度真空計，還提供了一個系列產品：模擬型高精度真空計。只有探頭部分，沒有任何電子線路部分，所以適用于高輻射環境中。這類產品必須要和高精度真空計控制器TPG 300一起使用，TPG 300內的控制板是可以根據客戶的需要靈活配置的。TPG 300的輸出接口板既有工業標準總線接口如RS-232，RS-485等，也有繼電器功能輸出。
3.污染嚴重的環境
對于測量對象是有粉塵和污染嚴重的情況，一個選用抗污染能力強的高精度真空計，如薄膜高精度真空計全系列，電容薄膜高精度真空計全系列。另一個只能在安裝位置和安裝方式上去考慮，盡量減輕污染對高精度真空計的影響。使用過程中也需要加強檢查和保養，才能達到較好的使用效果。如對高真空和超高真空的測量，只能選用離子高精度真空計，而離子高精度真空計對污染和濺鍍性氣體都比較敏感，這種情況下，就只能在安裝和使用上去想辦法了。
